OLED制程中技术种类那么多 这些你可有印象?

这种生产技术目前被很多企业看好，并认为是将来大尺寸AMOLED技术路线的首选，各个公司也有相应的大尺寸样品展出。  

该技术TFT基板在加工过程中，可采取液晶行业中常见的、成熟的大面积的溅镀成膜的方式，氧化物为InGaO₃(ZNO)₅，尽管这种器件的电子迁移率较LTPS技术生产出来的产品要低，基本为10 cm²/V-sec，但这个迁移率参数为非晶硅技术器件的10倍以上，该器件电子迁移率完全能够满足AMOLED的电流驱动要求，因此可以应用于OLED的驱动。  

该技术和非晶硅技术主要的区别是利用激光晶化的方式，将非晶硅薄膜变为多晶硅，从而将电子迁移率从0.5提高到50-100 cm2/V-s，以满足OLED电流驱动的要求。 

该技术经过多年的商业化量产，产品性能优越，工作稳定性好，同时在这几年的量产中，其良品率已得到很大的提高，极大的降低了产品成本。 

从LTPS的工艺流程可以看出，其和非晶硅技术的主要区别是增加了激光晶化过程和离子注入过程，其它的加工工艺基本相同，设备也和非晶硅生产有相通之处。 

低温多晶硅技术LTPS最初是日本北美的技术企业为了降低Note-PC显示屏的能耗，令Note-PC显得更薄更轻而研发的技术，大约在九十年代中期这项技术开始走向试用阶段。

由LTPS衍生的OLED也于1998年正式走上实用阶段，它的最大优势在于超薄、重量轻、低耗电，同时其自身发光的特点，因而可以提供更艳丽的色彩和更清晰的影像，而更为重要的是：生产成本只有普通液晶面板的1/3。

作为最初研发的初衷，低温多晶矽(LTPS)的薄膜电晶体可在玻璃基板上嵌入驱动元件，大幅减少并保留驱动IC的空间，因而可以使薄膜电晶体的尺寸更小，并同时增加显示器的亮度并减少功率消耗，从而大大提升液晶性能及可靠度，也使面板的制造成本降低，具有更高的解析度。

LTPS所提供的TFT主动矩阵驱动以及驱动电路和TFT可同时整合制造，可在保持轻薄化优势情形下，解决解析度不足的问题(因为电子在多晶矽的传输速度较快品质也较优良)，可以使2.5寸的面板具备200ppi的高解析度。

另外，晶化的技术也有很多种，目前小尺寸最常用的是ELA，其它的晶化技术还有：SLS、YLA等，有的公司也在利用其它的技术研发AMOLED的TFT基板，例如金属诱导晶化技术，也有相应的样品展出，但这一技术的主要问题是金属会导致膜层间的电压击穿，漏电流大，器件稳定性无法保证（由于AMOLED器件是特别薄的，各层间加工时保证层面干净度，防止电压击穿是重要的一项课题）。 

a-Si技术在液晶领域成熟度高，其器件结构简单，一般都为1T1C（1个TFT薄膜晶体管电路，1个存储电容），生产制造使用的Mask数量为4—5，目前也有厂家在研究3Mask工艺。 

另外，采用a-Si技术进行AMOLED的生产，设备完全可以使用目前液晶TFT加工的原有设备，初期投入成本低。  

再者，非晶硅技术大尺寸化已完全实现，目前在LCD领域已做到100寸以上。  

虽然在LCD领域，a-Si技术为主流，但OLED器件是电流驱动方式，a-Si器件很低的电子迁移率无法满足这一要求，虽然也有公司（例如加拿大的IGNIS）在IC的设计上进行了一些改善，但目前还无法从根本上解决问题。

LTPS技术主要技术瓶颈在晶化的过程，而a-Si技术虽然制造过程没有技术难题，但匹配的IC的设计难度要高得很，而且目前IC厂商都是以LTPS为主流，对a-Si用IC的开发投入少，因此如果采用a-Si技术进行生产，则IC的来源是一个严重的瓶颈和掣肘，另外器件的性能将会大打折扣。

微晶硅技术在材料使用和膜层结构上，和LCD常见的非晶硅技术基本上是相同的，的电子迁移率可达到1—10 cm2/V-s。

这种技术虽然也能达到驱动OLED的目的，但由于其电子迁移率低，器件显示效果差，目前选择作为研究方向的厂家较少。

通过对各种TFT技术比较，我们可以看出，LTPS技术主要的优点是电子迁移率极高，完全满足OLED的驱动要求，而且经过几年的商业化生产，良品率已达到90%左右，生产成熟度高。主要的问题是初期设备投入成本高，大尺寸化比较困难。  

金属氧化物技术电子迁移率虽然没有LTPS高，但能够满足OLED的驱动要求，并且其大尺寸化比较容易。主要的问题是稳定性差，没有成熟的生产工艺。 

微晶硅和非晶硅技术虽然相对简单，容易实现大尺寸化，并且在目前LCD生产线上可以制造，初期的投入成本较低，但其主要的问题是电子迁移率低的问题，适合LCD的电压驱动，而不适用OLED的电流驱动模式，并且在OLED没有成熟的生产经验，器件稳定性和工艺成熟性无法保证。

有机层形成方式，可分为传统方式和新型方式。传统方式是以气相沉积技术为基础的，而新兴方式是以转印和印刷技术为基础的。

新兴方式中转印技术由三星和3M联合开发和研制；印刷技术主要由爱普生开发和研制。这两种方法最大的优点是提高材料使用率和简化生产制程，但其技术和材料具有一定的垄断性，目前还不具备量产的能力。

传统的气相沉积方法也就是我们通常所讲的CVD，对于有机材料的蒸发，按照蒸发源的不同和蒸发方式的不同又分为点源式、线源式及OVPD(有机气相沉积)。 

OVPD(有机气相沉积)是由德国爱思强公司研发，该工艺设计改进了可生产性，相对于蒸镀技术可以降低制造成 本。具有优越的重复性和工艺稳定性以及显著的膜层均匀性和掺杂的精确控制，为高良率批量生产奠定了基础，同时减少了维护和清洁要求，从而降级了材料消耗，具有提高材料利用率的巨大潜力。  

OVPD方式具有较好的优越性，由非OLED生产商研制，面向广大的OLED生产商，是业界较为看好的生产技术和设备。但是该设备目前存在两个问题：  

目前来看，点源技术日本TOKKI公司较为优秀，线源技术日本ULVAC公司较为优秀。

目前OLED器件有两种光出射方式：底发光和顶发光，下表是这两种方式的对比：   

底发光技术工艺成熟，选择风险小，甚至没有风险。顶发光制作工艺有两个难点，一是阴极制作，另一个就是封装方式。尽管顶部发光困难尚存，但已是趋势所在（最少在背板材料没有新的突破下）。

但从长远看，如果背板材料有了新的突破，如迁移率和均匀性得到质的改善，那么底发光就有更低成本的优势。总体而言，采用a-Si背板，顶发光是较好的选择，P-Si背板就可以考虑底发光方式。

来源：OLEDindustry

欢迎参与2017上海国际全触与显示展，了解更多行业信息。

2017年4月25-27日，2017上海国际全触与显示展（C-TOUCH&DISPLAY SHANGHAI 2017）将在上海世博展览馆隆重拉开帷幕！

上海国际全触与显示展是一个集触摸屏和显示技术为一体的产品和技术贸易平台。2017年，为助力产业发展，推动围绕面板企业的产业链协同创新，展会联合“中国光学电子行业协会液晶分会”，同期推出 “上海国际新型显示技术展” ，打造全球触控和显示的全新交流渠道。

立足于中国触控和显示产业雄厚的技术基础与市场条件，上海国际全触与显示展汇聚了来自全球触摸屏，显示面板，手机制造，视听设备，电子方案设计等相关行业的上万名专业买家，并与亚洲另一大电子制造产业盛会NEPCON China同期、同地举行，获得超过2.8万名来自电子制造服务，消费电子，通信，计算机，汽车电子和医疗电子等各类电子制造企业高端客户的参与。同时，高品质的线上线下商业配对服务让展会现场搜寻目标客户变得更高效便捷。这些优势为触摸屏，显示面板，制造设备，应用材料，测量测试，元器件等参展企业的品牌和技术开辟了更广泛的宣传空间，帮助其产品和服务在市场竞争中赢得更多业务合作机会。

展品范围：

1、新型显示

显示面板、阵列设备、成合设备、模组设备、检查设备、材料和器件、终端产品组装、显示应用、蒸镀设备、其他

2、触摸屏模组/显示器

触摸屏/模组、红外触摸屏、声波触摸屏、光学触摸屏、电阻触摸屏、电容触摸屏、光伏面板、OGS、in-cell、on-cell、电容式触摸屏、电阻式触摸屏、红外触摸屏、压电式触摸屏、表面声波触摸屏、光学触摸屏、手写板、工业触摸屏、人机界面、TFT-LCD、LTPS、AMOLED、抬头显示、柔性显示器、3D液晶显示器、FPD制造设备、材料组件、面板、液晶模组、测试设备、清洗/净化/防静电技术等

摄像模组展区：

手机及平板电脑摄像模组、相机摄像模组、指纹识别、镜头、传感器、软板、图像处理芯片、镜片、滤光片、镜座、音圈马达、驱动芯片、软性线路板、 连接器、补强、胶水、玻璃基板、烤炉、点胶、绑定焊接、丝印、测试、切削、研磨、抛光、镀膜、清洗等

3、触摸屏元件/制造材料

丝印耗材（导电油墨/银浆/网版/网纱/感光乳剂、光学膜/保护膜、盖板玻璃、蓝宝石、靶材/真空镀膜材料蚀刻剂/光阻剂净化耗材/防静电产品光学胶/胶粘带、ITO 薄膜/ITO 玻璃、ITO 替代产品（石墨烯/银纳米线/导电聚合物/纳米碳管、金属网格）、FPC/触控IC、

4、触摸屏制造设备

丝印机、镀膜/显影(固化/曝光/蚀刻)/清洗设备、净化/水处理/防静电设备、镀膜设备、切割设备、固化/烘干设备、贴和设备/点胶设备、AOI/分析仪/检测仪、钻孔设备、切片设备、蓝宝石切割设备、抛光设备（机械抛光）

5、触摸屏应用产品

智能穿戴设备、数字标牌/、智能手机、查询机/ATM、平板电脑/笔记本电脑、排队机/POS 收银机、KTV 点歌机/优惠券打印机、电子白板、GPS 导航、汽车、航空电子中控平板、仪器仪表/工业控制设备/薄膜开关、

6、触摸屏应用软件及解决方案供应商

7、生物识别

指纹识别、视网膜识别、虹膜识别、人脸识别、手掌几何学识别、声音识别、签名识别、基因识别、静脉识别、步态识别、人物识别 

生物识别解决方案：

指纹模块、指纹锁、指纹手机、指纹保险柜、指纹终端采集器、指纹考勤机、指纹门禁、ATM指纹钞箱锁、指纹支付仪、人脸识别摄像头、人脸识别仪、人脸门禁、人脸识别摄像头模块、人脸识别支付仪、虹膜门禁、嵌入式虹膜仪、虹膜采集仪、虹膜模组、虹膜识别设备、静脉模块、静脉识别仪、静脉采集仪、手指静脉锁、静脉识别读卡器、静脉登陆终端、生物识别配件、玻璃、FPC、连接器、组装、传感器、读卡器、网络模块、数据管理器、FPC、芯片、点胶机、胶水、玻璃切割

8、金属手机外壳

外壳代工厂， CNC数控机床，压铸机，冲压机，锻压机，控制板，主轴，机头，切割机，粉碎机，钻头 ，刀头，控制系统、马达、机械臂，机器人，塑料，橡胶，注塑机，抛光，喷涂，拉丝，表面处理化学品，金属液，碳钢板，不锈钢，铝材，镁材，铜材，锌板，测量仪，电子涂料，油漆，油墨，阳极氧化线，防静电产品，清洗机等。

--------------------END--------------------